特 長

• FT-IRの補完分析　20μm以下の微小部位、異物の分析
• 非破壊による深さ方向の分析、フォーカル顕微鏡による分解能2μm分析が可能
• 層間膜、埋没異物分析が可能、コンフォーカル顕微鏡に よる相関膜や埋没異物分析
• マッピングを使った有機物分布分析、薄膜や微小部位のスペクトルのマッピンッグによる面分析
• 微弱な散乱光なので蛍光を発する物質は測定が困難

用 途

• 微小異物分析 (有機物、無機物同定)
• Si結晶性評価
• カーボン膜評価 (ダイヤモンド、グラファイト) 等

分析事例