特 長

• ppm/ppbレベルの高い検出感度
• 質量数の大きな分子イオンも測定可能
• 60mm□までの大面積試料が測定可能
• 深さ方向のプロファイリングが可能

用 途

• 試料最表面に付着する無機物元素、及び有機物の同定
• ウェーハ表面汚染、残渣、転写物、洗浄効果の確認
• LCDの表示異常原因調査 (シミ、ムラ、ハジキ)

分析事例