特 長

• 最大走査範囲（X-Y方向)：90μm
• 試料サイズ：Φ120mm
• 分解能：0.05nm(垂直) 、(面内)：0.5nm)

用 途

• 表面形状の高分解能観察
• ウエハー、薄膜等の表面凹凸測定

分析事例