TDS

(Thermal Desorption Spectroscopy)

特 長

  • 最高 1000℃の加熱により部材から放出されるガスの定量分析・定性分析
  • ガス封入管及び真空管内の残留ガス分析(破壊後分析)
  • 液晶パネル内の水分量分析

分析事例

  • 液晶パネル内の水分量調査 (破壊分析)